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| 其它自動化烘烤線 |
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| NMT-ZN-622 半導體設備洗滌自動烘干(蘇州晶洲) |
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| 產品名稱: |
NMT-ZN-622 半導體設備洗滌自動烘干(蘇州晶洲) |
| 產品編號: |
NMT-ZN-622 |
| 適用范圍: |
半導體設備洗滌自動烘干 |
| 瀏覽次數: |
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詳細介紹 |
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一、半導體設備洗滌自動烘干主要技術參數
1、內膽尺寸:左右雙內膽,單個內膽尺寸:寬2700*高1400*深2600mm;
2、外形尺寸(約):寬6610*高3500*深3025mm;
3、溫度范圍:常溫~+300℃可調 ;
4、溫度波動度:≤±1℃;
5、溫度均勻度:≤±5℃(空載恒下測試);
6、升溫速率:≤8℃/min;
7、潔凈度:Class100級(≥0.5μm塵粒≤3.5顆/升)(工作室);
8、外殼溫度:溫升不超過環境+25℃,門周邊除外。
9、電源:三相五線制,220V,50HZ;
10、總功率:120KW;

二、半導體設備洗滌自動烘干箱體結構特征
1、外殼材料:采用2mm厚Q235冷軋鋼板(強度、塑性和焊接綜合性能最好)折彎焊接制作;
2、內膽材料:采用1.5mm厚SUS304不銹鋼板制作;保持內膽清潔無塵,防生銹、耐腐蝕;內部鈑金與保溫層全部滿焊,防止保溫層隔熱棉泄漏,以保證潔凈度。
3、箱體骨架:采用50*50*3mm角鐵制作;保持箱體內外各個面的承載強度,并保留熱脹冷縮系數,可防止箱體變形。
4、密封材料:密封條采用進口高溫硅膠制作,可耐溫不變形,門與箱體連接密封,加強密封效果;
5、門:自動上下開門,從下往上開啟,共計2扇門,左右獨立控制。配有升降馬達,勻速控制。
三、半導體設備洗滌自動烘干培訓
免費進行技術培訓
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